二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269623 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一个多功能评估单元，设计用于评估基板上的光刻胶图样形成和薄膜图样。TEL CS450系统能够对曝光、开发、抗回流和曝光后烘烤（PEB）过程进行高级控制和独立管理。它用于制造半导体器件，包括有机、液晶显示器和光掩模。TOKYO ELECTRON CS 450单元有一个用专有算法编程的高级控制模块，以简化、加速并精确地将光刻胶处理到基板上。其曝光模块控制光刻波形，允许高对比度成像和低应力施加到光刻层。此外，它还配备了一个抗蚀剂回流机，可以将特殊的加热温带施加到光刻层，从而实现更厚、更均匀的沉积。此外,CS 450工具还配备了自动工艺优化功能,可用于评估关键参数,如暴露剂量、显影时间和PEB条件,以实现基板上光刻胶的最佳阵列。这一优化功能显着减少了实验过程中人为错误的数量，从而提高了整体生产率。最后,TEL/TOKYO ELECTRON CS 450资产具有先进的监控和测井能力,使操作员能够跟踪整个抗蚀剂处理过程,从而确保按照规范应用光刻胶。CS450模型非常适合工业应用,例如大量生产电子元件,因为它为图像传输提供了可靠且经济高效的解决方桉。