二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269625 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种利用小粒子吸收方法提供高分辨率处理能力的光刻设备。光敏材料是一种光敏材料,用于在基板上创建图样。TEL CS450系统采用了一种独特的方法，即使用分散在有机溶剂中的钛硅酸盐粉末小颗粒在暴露场的定义区域内产生真空。然后应用激光，使粒子吸收光，在晶圆上产生图像。TOKYO ELECTRON CS 450专为半导体製造而设计，其特性小至0.3 μ m。该单元可实现高均匀度的曝光和高速度的光刻涂层和曝光。该机器允许精确控制曝光参数和工艺，使其成为高产量生产的理想选择。该工具旨在确保长期取得可靠和一致的成果，并定期进行监测，以确保业绩。TEL CS 450适合于多种应用，包括直写电子束光刻、高级封装以及其他需要高分辨率光刻胶图样的应用。资产整合了物理气相沉积能力。涂层过程包含一个基板转换室、预涂层室和后涂层以及一个控制站、一个晶圆清洁站和一个气体喷射器。此外，CS 450对于氮化物、介电和金属的底物温度可高达180 °C。该模型还具有温度、时间、压力和厚度的处理窗口,可针对每一层处理进行调整。此外,CS450还具有极好的工艺特性,周期时间短,符合最高一致性标准。该设备具有较低的热负荷，允许较高的热预算进行处理，这反过来又有助于降低成本和提高速度。最后,该系统易于使用的界面使其用户友好和高效.