二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269627 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一种用于半导体工业沉积光致抗蚀剂的高端、精密设备。系统采用蒸发、溅射、自旋涂层等多种调制沉积方式。具有在基板上快速、高精度实现均匀涂层的能力。大基板尺寸可提供高吞吐量和高达4500mm的工艺兼容性。TEL CS450单元还包括一个原位电阻监测机，它允许对基板上的电阻厚度进行实时控制。蒸发器工具利用电子束加热对大多数材料进行快速热蒸发，并包括一个本机集成的灯丝电源，用于安全、有效的操作。蒸发器资产还具有高效的冷冻泵，在加工过程中有助于基板的快速排空。该模型还包括一个既能提供氙气溅射也能提供氙气溅射的多源溅射模块，以及一个具有独立计量多材料沉积的提前溅射源。TOKYO ELECTRON CS 450的自旋涂层设备的精确度与它的高均匀性相辅相成，增强了系统在基板上快速准确沉积光阻的能力。自旋涂层还包括一个双头驱动单元，可精确控制速度和均匀性。刀具的主动自动旋转模块进一步提高了机床的均匀性和精度，利用先进的运动控制器来保持均匀的旋转速度。CS 450光阻资产是一种可靠、高效的沉积模型，既能提供精度，又能提供高通量。其高效的消散防御允许在过程中进行安全的基板镜像，而其原位抵抗监测设备则允许及时调整以满足沉积要求。此外，它的溅射和蒸发源提供了广泛的工艺兼容性，并能提供高均匀性和快速沉积操作，同时保持优秀的光致抗蚀剂质量。