二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269628 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光致抗蚀剂设备是一种半自动沉积系统，用于半导体制造过程。该装置的设计目的是通过用户定义的定制工艺对光刻胶材料进行精确沉积。该机由一个控制器模块和一个集成操作面板、一个基板处理/光刻处理模块、一个真空沉积模块、一个光学对准模块和一个检测器模块组成。控制器模块包含一个基于Windows的软件控件,允许用户定义和存储自定义沉积配置文件并监视工具参数。基板处理/光阻处理模块负责基板处理和预处理过程。它包括一个热单元和专用盒式磁带用于固定基板。真空沉积模块设计用于将光敏材料或其他薄膜材料沉积到基板上。采用低压、隔膜控制沉积技术进行均匀薄膜沉积。光学对准模块提供基板相对于沉积源的对准。该模块包括用于检测基板或晶片位置的摄像头，以及用于精确定位基板的可移动光学对准装置。最后,检测器模块测量沉积在样品晶片上的薄膜厚度.总体而言，TEL CS450光致抗蚀剂资产是在各种半导体制造工艺中进行光致抗蚀剂沉积的流线型、成本效益高的模型。该设备具有集成工艺控制、预处理、真空沉积元件等多种人性化特点，用于精密薄膜沉积。此外，该系统还包含一个光学对准模块，以确保基板的正确对准，以实现均匀的薄膜沉积。检测器模块可确保沉积光敏材料的正确厚度。这些特性使TOKYO ELECTRON CS 450成为半导体制造过程中薄膜沉积的理想装置。