二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9352213 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光刻设备是一个先进的光刻平台，设计用于薄膜和平面化层的精确和精确的图桉。该系统能够提供高通量和高分辨率的成像，用于硬质和软质的光刻胶应用。该平台同时配备了紫外线曝光和自旋涂层功能。UV曝光单元使用户能够精确绘制270 nm至590 nm特征尺寸的图样,而旋转涂层则可以精确沉积薄膜和平面化层。这种功能的组合提供了出色的模式传输质量。通过各种硬件组件启用过程控制,包括智能控制机器和层控制工具。这些组件协同工作以提供精确和一致的过程控制,使资产能够可靠地以最小的变化提供统一的结果。该模型利用先进的视觉识别技术在扫描基板时识别和对齐特征。这样可以确保在暴露过程中的精确对准,并在涂层过程中实现高精度图样传输到基板。它还确保设备始终以最高精度进行处理。曝光片也是可调的，可以快速更换，以适应不同的基板尺寸和曝光要求。这允许用户在需要时快速更改其流程。TEL CS450光刻系统是光刻和薄膜沉积的先进、可靠的平台.该单元的硬件和软件组件的组合有助于为硬质和软质光刻胶应用提供一致和准确的结果。它能够以最小的变化可靠地产生精确的模式，确保了设备的最佳产量和性能。