二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9393333 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种用于半导体制造的先进光刻设备。TEL CS450非常适合在集成电路（IC）设备上实现非常精确的物理、电气和光学特性。这是一个全自动系统，快速和均匀地涂覆零件和基板与一层薄薄的光刻胶。光刻胶是一种感光材料，用于在IC器件的表面上创建图桉。它首先被涂在一个均匀的薄层中，然后使用照相面罩暴露在紫外线下，在抗蚀剂上形成光的图桉。抗蚀剂通过在暴露的区域变硬而与光线相互作用。任何变硬的暴露区域都可以被冲走，留下面膜的图桉。TOKYO ELECTRON CS 450结合了氟化氢（HF）气相沉积和自旋涂层技术，为光刻胶应用提供了优越的薄层附着力。自旋涂层还用于涂抹厚度均匀的涂层，使工艺产生可重复的结果。CS 450单元包括一个外围控制板、中央控制器和自动真空化学输送机。外围控制板用于控制工具的自动，而中央控制器则负责控制整体操作。化学输送资产可确保将诸如显影剂、活化剂和清除剂等化学物质的准确剂量输送到基质中。CS450具有10英寸和12英寸晶圆加工能力,基板支架可调。模型可以处理一定范围的晶圆尺寸，直径从2"到12"。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450还通过其集成的电动自旋涂层实现了光刻胶的高速应用。TEL CS 450具有支持多种晶片大小的能力,以及一次处理多达24个晶片的能力。这使得设备非常适合大规模生产。此外，TOKYO ELECTRON CS450具有高度可配置的自动化过程，可以很容易地改变或适应特定的需要。最后，TEL/TOKYO ELECTRON CS450是一种用于在IC器件上精确形成图样的自动光刻系统。它将先进的HF气相沉积和自旋涂层技术与真空化学输送装置相结合，具有优异的薄层附着力和均匀性。TEL CS450支持多种晶圆尺寸,并具有高度可配置的自动化流程,可用于大规模生产。