二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9411470 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipment是一个集成光刻系统,专为高精度光刻应用而设计,使用户能够优化其微加工工艺。该单元允许用户制作生产先进半导体产品和其他高端电子元件所必需的亚微米特性的精密图样。TEL CS450采用深紫外线均匀照明器，可支撑尺寸可达200毫米的大型基板。它还具有一个用于精确定位和烧蚀的双轴可编程机械化.凭借其高分辨率的投影光学器件，可以以0.05 µm的最大分辨率曝光基板。该工具还具有流量为650 cc/min、总压力为0.1MPa的7级压力过滤资产，以实现原始图像图样的最佳均匀性。此外，氮气净化在减少颗粒污染方面更为有效。该模型以其用户友好的界面易于操作，可用于生产广泛的设备组件，包括晶圆级集成、光掩模图样以及其他微加工工艺。它还配备了先进的检测和计量工具，如表面测量和缺陷检测，以保证完善的工艺性能。通过将所有设备集成到同一台设备中,用户可以快速、轻松地执行可重复和可靠的光刻过程,并保证高精度微元件的产量。该系统还具有先进的照明控制模块和专有的图像失真校正算法，允许精确和一致地暴露于光刻材料。这有助于通过降低故障率来确保最佳的最终产品,从而最大限度地提高生产效率。总体而言，TOKYO ELECTRON CS 450光刻装置旨在为用户提供生产先进电子元件的可靠和严格的光刻工艺。它的多功能、全面的功能和可靠的性能使其成为高精度光刻操作的理想解决方桉。