二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9412550 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450光刻设备是开发微电子制造模式的先进平台。它是一种电阻成像系统，常用于半导体製造，使用光敏材料在基板上製造多种图桉。光敏材料对光的特定频率作出反应，使特征被精确地阵列。因此，TEL CS450能够以高精度和可重复性在各种基板上产生各种有图桉的形状和尺寸。TOKYO ELECTRON CS 450以较高的工程精度打造，利用微电子模式化的最新技术进步。该单元提供了高度的灵活性和可扩展性，使其适合一系列应用。它足够精确,可以产生小至50 nm（纳米）且具有高度可重复性的图桉,从而为用户提供精确可靠的设计保证。这种精度很大程度上归功于机器的光学对准工具，它允许精确瞄准基板目标。CS 450还具有对暴露参数的更大控制,从而可以更好地控制暴露和发展。这样,加上其集成的数据管理功能,可以在开发模式时提高可靠性。使用安全和模块化模型体系结构的数据管理资产在处理复杂且耗时的项目时特别有利。它还配有自动曝光控制设备，可以精确确定精确的曝光。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450使用独一无二的电气和光学元件组合，创建分辨率更高的图样。该系统还包括一个减少颗粒污染的封闭暴露单元，进一步增强了模式分辨率。此外，机器使用先进的光学干涉滤波器来保护光学器件免受污染，帮助保护刀具免受污染物的降解或损坏。总体而言，TOKYO ELECTRON CS450是一种先进的光阻资产，专为微电子学中最精确的模式而设计。它可以产生小至50 nm、具有高度重复性的模式，并具有集成数据管理模型和自动曝光控制设备等多种用户友好的功能。利用其电气和光学组件的组合，以及其免受污染物的保护，它能够为各种微电子应用产生精确的模式。