二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9412551 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS450是为生产半导体器件而设计的光刻设备。该系统用于在晶片和图桉化介质上开发模式，以产生晶体管和其他组件的微电路。TEL CS450包含一整套集成组件,可协同处理和开发抵抗模式。组件包括一个抗蚀剂自旋涂层单元、一个光抗蚀剂分配器、一个光抗蚀剂编辑器、一个多室抗蚀剂工艺工具和一个蒙版对齐器。抗蚀剂自旋涂层机设计用于在晶片表面上施加均匀的光敏层。这层光致抗蚀剂随后被暴露在不同波长的紫外线下，以创建图样。曝光后，光致抗蚀剂分发器将所需图样的光致抗蚀剂分配到基板上，以发展微电路。光刻胶编辑器能够精确编辑和优化高分辨率的掩模图桉。它还可以使用现有的掩码阵列库来生成与所需规范精确匹配的新设计。多室抗蚀剂工艺工具为后续光刻步骤提供了理想的环境。它配备了多个腔室，可以容纳不同的光源，并允许晶圆表面同时发展模式。另外，TOKYO ELECTRON CS 450拥有掩模对准器。此工具旨在对齐多个基板上的图桉,从而在较大的区域内实现更均匀的结果。掩码对齐器还有助于减少在进程之间移动晶片时的错误。最后,对CS450进行了优化,以获得准确有效的结果。它配备了几个集成组件，旨在自动执行抗蚀剂阵列制作过程，同时保持高精度。因此,TOKYO ELECTRON CS450可以产生具有紧密公差和一致性能的结果。