二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9101357 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment是一种先进的晶圆处理系统,用于开发半导体工业中使用的多种光刻胶。该单元采用机动化晶片处理、晶片调平器、40°倾斜安装真空晶片旋转等先进技术工具。它具有350-700 nm的全光谱范围，具有精确的光谱控制，使得光刻胶的曝光和开发具有高精度。强健的机器设计提供了高吞吐量的自动化过程序列管理，晶圆识别，温度管理和应变模拟。配置选项允许集成其他光源（如DUV、FUV或POLAR）和模块化组件（例如图像形成系统、反射计或质量规格）。该工具可确保多种类型的系统保持一致的质量,包括InGaAs、GeSe、SiC和SiGe。该资产具有先进的自动化对齐功能,如多点全局优化、非线性网格优化和可定制的步长序列,为光刻胶的曝光和开发提供了卓越的精度和准确性。该型号配备了现场氮气生产线，还采用了新颖的氮气辅助技术，实现了最佳性能。这种氮气辅助高压照射能改善粘附力，降低光刻胶膜的应力。此外,该设备还采用CCD或MAM敏感配方提供子层成像和局部曝光后烘烤,有助于优化蚀刻工艺。TEL CS 500高度灵活、用户友好的软件支持模式识别、自我表征和可定制的作业管理。它提供了以各种格式（从GDSII到CDF和Xyce）管理作业以及跟踪特定模式操作的可能性。总之，TOKYO ELECTRON CS 500光抗蚀剂系统是一个先进而稳健的晶圆处理单元，适用于一系列的半导体应用。其精确的光谱范围、氮气辅助高压曝光技术以及可定制的作业管理机器，使CS 500具有很高的准确性、可靠性和效率。