二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269632 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为生产高度精确的集成电路和其他深亚微米结构而设计的最先进的光刻设备。该系统将光刻光学的高分辨率与大面积处理能力和内置自动化相结合，使用户能够以高效可靠的方式制作复杂、高性能的电路图样。该单元的核心是TEL专有的直接照明光学技术，它为成像光阻层提供了卓越的分辨率和对比度。光学器件包括用于记录图样形状的扫描掩模投影机（SMPS）、带有显微镜的Karl Suss MA65掩模对准器、安装在XY舞台上的二进制（x-tal）镜头以及远心投影仪镜头。这种光学元件的独特组合在1 nm RMS的区域内产生无与伦比的线宽粗糙度（LWR）值。TEL CS500非常适合晶片处理和自动化,包括一个全伺服驱动的晶片堆迭工具,具有防颗粒保护和精密晶片定位器,以确保并行性和侧向对准精度。这样可以确保晶片能够快速轻松地从成像站精确加载和卸载。该资产还配备了一整套软件工具和控制与操作功能。所有参数如曝光能量、光斑大小、曝光均匀性、工艺温度和掩模对准精度都可以从直观的计算机图形用户界面（GUI）中精确控制。预先设定的配方配方和用户定义的过程可以存储在模型上，以便快速周转晶圆批次。总体而言，TOKYO ELECTRON CS 500是一种高度先进的设备，具有先进的特性，用于生产高要求的集成电路和其他先进的光敏结构。其可靠、准确的成像能力、连续自动化和全面的软件套件使其成为任何商业光刻胶生产环境的理想选择。