二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269635 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种用于半导体和微电子应用的高性能光阻设备。光刻胶系统结合了先进的成像光学、高精度和坚固的力学以及先进的软件。其结果是一个非常坚固可靠的平台,可以支持各种抵抗处理要求。TEL CS500利用数位光束投影（DBP）技术提供高精度的光掩模对基板的曝光。这种技术保证了各种结构的均匀暴露和模式的可重复性。此外，该装置采用受控强度照明和优化光学方法来减少眩光、空间相关照明和高分辨率成像，以提高生产速度和产量。TOKYO ELECTRON CS 500的最高分辨率水平是通过使用亚微米技术，将精确的图像精确再现到抗蚀剂基板上来实现的。此外,该机器还能够处理薄抵抗材料（薄至0.2 μ m）,并具有高精度迭加功能和多模具对准精度级别。这种特性和优势的结合，让用户能够为广泛的抗光刻应用实现最佳工艺参数。CS 500的高级软件进一步增强了该工具的功能。通过使用户能够在抵抗过程中完全控制资产的参数和设置,它显着提高了模型的准确性和可靠性,同时大大缩短了运行时间。在安全和维护方面，CS 500设计了一个自动清洗设备，以清除碎片颗粒，降低污染风险。除了内置安全联锁以防过程操作过程中意外暴露外，这些功能还大大提高了用户的安全性。总之，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一款高级光阻系统，结合了先进的光学、高精度和鲁棒的力学，以及先进的软件，以支持广泛的抗性处理要求。利用这些功能,TEL CS 500能够提供高精度、高分辨率的生产,并最大限度地提高产量和最小化运行时间。