二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269637 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种最先进的光刻设备,能够精确控制蚀刻过程。利用真空紫外线（VUV）光系统，能够精确控制基板上横截面形状的生成，如线条和孔洞。VUV光单元可根据用户指定的强度设置进行调节,并具有多焦点机器,可提高VUV辐射在多个基板上的均匀性。该工具利用了一系列光敏材料来实现预期的结果，包括一系列基材的正型和负型显影剂。通过其先进的控制资产,TEL CS500确保了可重复的过程结果和高精度的蚀刻.该模型非常适合于创建复杂的形状,以及在硅、聚合物和金属等基板上对线和孔蚀刻进行大容量加工。TOKYO ELECTRON CS 500具有高精度的计量机理和时间控制的发展。由于其精密的计量设备，它可以在监测薄膜厚度的同时调整化学物质的数量和曝光时间，以确保薄膜厚度在整个基板上的均匀性。时间控制的开发系统允许TOKYO ELECTRON CS500在开发模式时评估和调整浓度和曝光时间。此外,CS 500还具有内置的自我诊断程序,可执行单元和进程检查并记录可重复处理的设置。TEL CS 500具有多种安全功能,可保护用户和机器免受潜在危害。辐射和激光安全措施到位，工具实施严格的温度、压力和CO2监测措施，增强安全性。CS500是一种强大的资产，为光刻材料的加工和蚀刻设定了行业标准。其人性化的界面、优越的控制和可重复性，以及全面的安全措施，使其成为光刻加工和蚀刻的顶级选择。