二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269638 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500光刻设备是一种先进的光刻系统，旨在实现半导体制造中的精密工艺。该单元用于以高度精确的方式使用光掩码对半导体晶片进行图样绘制。TEL CS500具有高性能对齐机，确保芯片制造过程中的最佳精度和速度。它旨在在高密度晶片上实现可靠和均匀的模式。该工具的精确度通过具有10纳米分辨率的高精度对准级来确保4英寸晶圆尺寸。该资产还具有用于管理晶圆过程信息的高级数据控制模型。它与主控制设备接口，以确保准确和可预测的性能。它还具有高分辨率数字显示屏和图形蒙版编辑器,允许对蒙版阵列制作过程进行可视化检查。TOKYO ELECTRON CS 500还具有先进的无磁（MFF）模式，具有超宽处理范围能力。通过消除导电材料和永磁材料可能造成的某些变形，这种模式可以获取高质量的图像。该系统还配备了强大的照明单元，专门设计用于提供整个晶圆的照明均匀性。这种均匀性对于实现模式化芯片设计至关重要。该照明机具有非对称同轴照明和利用场透镜提高效率的特点。最后，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500提供了一个内置的过程监控工具，允许实时验证每一个有图样的晶圆。此监视资产可以检测到诸如掩码设计中不希望出现的失真、CD和焦点错误等问题,从而为过程工程师提供有关制造过程的即时反馈。总体而言，CS 500光刻胶模型是为精密半导体加工而设计的先进光刻设备。它具有多种功能,可确保准确性、统一的阵列和过程监控,使其成为生产高质量、复杂芯片设计的宝贵工具。