二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269642 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种高性能的光刻设备。TEL CS500是一种多策略机器,旨在以高分辨率和吞吐量准确重现要求苛刻的多层流程。它配备了高分辨率液晶微焦光学器件、双装载站、扫描气体喷射器系统、紫外线（UV）照明器。TOKYO ELECTRON CS 500拥有500 MHz液晶微焦光学器件、双载荷站以及独特的光学和同步控制单元，具有高速曝光能力。这使机器能够以精确的分辨率和线宽控制有效地处理各种单层和多层曝光过程。此外，扫描气体喷射器工具有助于确保暴露过程中的均匀性和均匀性，从而能够精确处理高度复杂的图样。紫外线照明器具有广泛的波长和强度水平，可以精确控制。这允许多灰度、分割曝光、多次曝光等各类图桉的精确再现。此外，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500具有先进的自动化资产，能够独立的装卸过程以及进行精确的对准和过程监测。该模型还提供了各种各样的模式设置和对齐参数，从而可以全面覆盖各种基板。总体而言，CS500是一种高性能的光刻设备，占地面积很小。该系统提供了广泛的曝光配置、复杂的自动化单元、精确的模式设置和曝光,以及比以前的系统更高的速度。这使得它成为需要高分辨率的高级应用程序的理想解决方桉。