二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269643 待售

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
CS500
ID: 9269643
System DECO LE4000A SP SCR.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种最先进的光致抗蚀剂设备,其设计可实现广泛的晶圆处理操作。光致抗蚀剂是一种光敏材料,在加工前应用于半导体晶片表面。光刻胶施用后,晶片受到光线照射,从而形成一个光刻图样的抗蚀膜。TEL CS500能够在各种制造作业中提供卓越的性能。它的高分辨率掩模图像传输系统具有出色的图样分辨率,并且可以处理从2"到6"的各种晶圆大小。此外,该装置还配备了2轴晶片级,用于高精度的持有者定位。内置监视器允许在同一监视器上进行实时查看和过程控制。TOKYO ELECTRON CS 500配置了高速曝光光源,提供了更短的曝光时间,电机驱动的晶圆级以加快处理周期,以及卓越的冷却系统以获得更高的性能。这台机器还配备了一个自动曝光调整工具,允许精确曝光设置。它还配备了触摸屏用户界面,便于处理控制,并且与任何CAD/CAM软件完全兼容。CS500还具有保护晶片环境的防污染倾向,以及便于应用各类光刻胶的可编程旋转资产。该设备采用先进的数码相机和光学检测模型,可以方便地检测缺陷,为用户提供清晰的反馈。总体而言,TEL CS 500是一种先进的光刻系统,能够提供卓越的晶圆处理性能。它具有广泛的功能以获得最佳结果,使其成为任何制造商的必备单元。
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