二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269646 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种光阻设备，利用几种最先进的技术来产生比传统光阻技术更高质量的结果。该系统包含几个组件,它们共同作用以创建卓越的光刻图像。首先，该单元配备了高需求量的深紫外光源，以保证光敏胶片的成功曝光。该机的波长范围为250至410 nm，以配合各类光刻胶膜的光谱要求。光源还包含一个高效的快门工具来控制曝光时间和保持光刻胶层的完整性。资产还具有全自动级和自动晶圆处理模型，能够处理直径在2到300毫米之间的晶圆。这种晶圆处理设备配备了真空卡盘和自动级，非常适合大面积曝光。此外，该系统维持一个高度精确的基板位置监测单元，以确定光刻胶层均匀和可重复曝光的优先次序。TEL CS500还配备了先进的抗蚀剂浸没机技术，可确保足够的抗蚀剂供应和消除灌注抗蚀剂中的气泡。该工具采用坚固高效的流通资产设计，用于抗蚀剂的统一和连续补充。最后，该模型有两个先进的配药模块，分别用于精密抗蚀应用和均匀成膜。这些模块利用高精度和高精度的分配方法来创建统一和一致的光刻图样。这些特性的结果是一个光刻设备，能够创造高性能的图像和均匀的图样具有优越的光刻膜质量。凭借其先进的能力和技术，TOKYO ELECTRON CS 500能够为多样化的光刻胶系统需求提供优越的效果。