二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269647 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment是为生产集成电路而设计的先进光刻系统。该设备是一台全自动光刻机，利用最新的光刻技术，以前所未有的精度和速度实现芯片生产。TEL CS500具有曝光和显影的能力,最多可使用24张相片。每小时最多可处理6,500个晶圆,并具有各种不同的功能,以满足客户严格的光刻需求。这些包括广泛的曝光波长，从深紫外线（DUV）光到X射线光。该工具还允许进行标线控制和晶片级对准,以确保曝光的准确性。TOKYO ELECTRON CS 500配备了先进的自动对准资产（AAS），以确保光刻胶层在曝光过程中正确定位。该模型考虑了零件形状和位置数据、X射线狭缝对准和晶圆应变调节器,以确保产生正确大小的抗蚀层。AAS还允许调整剂量率设置，可以调整以产生指定厚度的抗蚀层。此外，CS 500有内置的检测设备，用于检测光刻胶层生产后的任何缺陷。该系统能够检测到3微米以下的缺陷，从而能够快速检测和校正任何有缺陷的薄膜。TEL CS 500为了确保光致抗蚀剂的均匀曝光和显影，使用了先进的相干光束阵列（CBA）曝光单元。这台机器有一系列激光射流投射到抗蚀层，确保光在整个层中均匀地被测出。TOKYO ELECTRON CS500是一种强大的光刻工具，可以在芯片生产中提供大大提高的精度和吞吐量。它结合了先进的自动对准和检测系统，以及光束阵列曝光资产，使其成为现代芯片生产过程中不可或缺的工具。