二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269648 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipment是一个集成的自动化系统,旨在应对先进半导体器件制造的挑战。TEL CS500配备了化学条带模块，为去除半导体晶片中的光刻涂层提供了卓越的条带性能。该单元还可作为自动旋转开发和涂层单元,设计用于以最少的人工干预来处理光刻涂层和预涂层解决方桉。TOKYO ELECTRON CS 500具有简单、用户友好的操作触摸屏,具有自动晶片大小和声音警报通知功能,可处理过程干扰或清洁。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500为高速率生产和灵活性而打造,具有多种移位配置。该计算机提供了易于使用的直观图形界面,可用于可配置的流程步骤。该工具具有独特的冷路换热器,可确保整个晶圆区域的工艺均匀性和出色的涂层厚度均匀性,为所有应用提供卓越的精度。此外，CS 500还包括一种先进的化学分配模式，能够控制包括过度喷雾在内的所有分配要求。TOKYO ELECTRON CS500设计为同时执行Spin涂层和Spray涂层工艺,具有多达300种高级涂层配方。它与易碎基板的无错误多晶片处理和可靠的高精度定位相结合，提高了工艺产量。先进的自我诊断资产包括所有基本模型组件的全面数据记录。此外,TEL CS 500还提供了用户可配置的自定义报告,用于自动数据分析。CS500是一个高度可靠的腔室环境，利用气体净化设备和过滤模块保护晶片质量，净化大气，保护晶片表面免受污染。先进的通风系统旨在防止压力中断，从而能够保持较高的真空水平。此外，该装置采用先进的晶片处理机制，确保完全的边缘污染控制，在自动批处理和单晶片处理之间具有灵活性。TEL/TOKYO ELECTRON CS500还提供用户选择的均匀层和干调技术过程，以达到最佳膜均匀性和结晶完美。此外,运算符还可以配置流程参数和设置参数,以最好地满足流程要求。这样可以确保完美的晶圆对准和最大的涂层均匀性。总体而言,TEL CS500光刻机为灵活生产而设计,性能卓越.该工具提高了流程的准确性、可重复性和吞吐量。其直观的触摸屏界面和自我诊断资产确保了操作方便和高效的过程控制。TOKYO ELECTRON CS 500是先进半导体器件制造的理想解决方桉。