二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269651 待售

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
CS500
ID: 9269651
System HITACHI LE-4000A (2) Stages Horizontal conveyor Conveyor controller.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为半导体器件制造而设计的光刻设备。它利用一系列的光刻技术在一个表面上创造出高质量的微结构,具有高分辨率。该系统利用数字成像技术,以纳米精度水平产生高精度设计特征。TEL CS500将晶片表面上的光敏涂层暴露于紫外线光源。然后,这种UV光在传送到晶片之前由高分辨率程序进行调制。这个程式可以针对不同的光刻胶类型量身定制,让使用者得到精确准确的设计。TOKYO ELECTRON CS 500还利用先进的真空装置减少涂层过程中的环境空气污染。这减少了缺陷,并防止颗粒堵塞涂层,因为它是应用。该机器还配备了高级剂量时间打印机(DTP)软件。该软件允许用户设置紫外线光源的曝光量和剂量水平。这是通过将所需的设计模式直接输入到软件中来完成的。然后用户可以监控实时剂量水平,并尝试优化所需设计的曝光。CS 500还提供了一系列安全功能,保护人员和设备免受紫外线辐射。这包括一个实时成像工具,它可以检测紫外线暴露,使工作人员能够穿着防护服并保持安全的工作距离。该资产还提供可减少辐射暴露的辐射屏蔽和屏蔽过滤器。TEL CS 500是半导体器件制造商的宝贵工具,提供精确的纳米级设计功能、真空防护环境空气污染,以及保护人员和设备免受有害紫外线辐射的安全功能。
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