二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269697 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种为极端化学、机械和热稳定性而设计的光阻设备。该系统由两个组件组成：TEL CS500光致抗蚀剂单元本身，执行曝光、开发、预烘烤和后烘烤过程，以及随附的软件，使用户能够调整配方和机器参数。TOKYO ELECTRON CS 500工具允许在内存IC芯片生产设施中精确曝光和开发光刻胶。高度精确的准直曝光资产和单独的模具等离子体预烤单元的结合提供了极好的均匀性、可重复性和速度。细螺纹高度调节机构提供高精度的曝光控制。该型号还配备了一个自动开发头,以获得优异的效果,并配备了内置的薄膜厚度监视器。随附的软件提供了控制和调整所有工艺参数的手段，包括蒙版尺寸、曝光剂量、开发时间，以及通过点击鼠标进行预烘烤和后烘烤温度。配方参数可以保存在内存中，并被召回以备将来使用，使得可重复的处理与精确的配方变得简单。该设备还包括一个使用寿命长的光学狭缝单元，可提供高精度的平整以及用于精确测量的薄膜厚度监视器。此外，还提供了电子自动抵抗负极控制，以避免在移动和冲洗期间产生冲击负载。该系统结构紧凑,易于安装,并提供低维护、低能耗和降低噪音级别。它设计用于在极其恶劣和腐蚀性的环境中运行，并且与各种化学品和溶剂兼容。该装置具有较高的化学、机械和/或热稳定性，适合在最坚固的生产环境中使用。总之，TEL CS 500光致抗蚀机是一种精度高、操作方便、均匀性高、可重复性好的刀具。其特点和稳定性使其成为内存IC芯片生产设施的理想资产。