二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269701 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是设计用于晶片在半导体和微电子制造中的光阻设备。它能够处理200毫米以下的基板尺寸。TEL CS500提供了可用于显微光刻的最高分辨率,并能够利用子四分之一微米特性进行曝光。它具有现代化的设计和先进的功能,以确保可重复、可靠的结果。该系统设计用于晶片的快速装卸，便于大规模生产。它具有独特的运动机制，精确对齐基板，确保均匀处理。此外，它可以完全自动化，提供最有效和最经济的光刻手段。TOKYO ELECTRON CS 500使用激光基设备照射晶圆表面，曝光剂量可调节以达到可扩展性和最佳性能。它能够利用多种光敏材料，包括聚甲基丙烯酸甲酯家族、聚酰亚胺家族和novolac家族中的材料。该单元能够应用广泛的光敏胶片，实现各种微米尺度的模式，精确的均匀性和覆盖率。利用其综合工艺参数，可以快速校准，达到理想的效果。TEL CS 500还为微调工艺参数提供了广泛的选项。这包括特征改进，如可调节的激光束强度或聚焦，以及调整曝光时间的能力。利用这些参数，无论电阻材料或模式如何，机器都可以配置成达到高质量的结果。CS 500是一种强大且高度可靠的光刻应用解决方桉,可提供卓越的吞吐量和准确的结果。它是任何半导体或微电子生产线的宝贵补充。