二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269702 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为高精度光刻应用而设计的光刻设备。它具有小巧的机身，易于安装在织物和洁净室中，并且能够生产具有极好的重复性和准确性的口罩和图桉。TEL CS500利用高精度级和扫描激光系统来精确控制基板和光致抗蚀剂的运动。舞台可重复性为1 µm，而扫描仪可重複移动模式，精度为0.03 µm。它专为多种基材而设计，包括感光玻璃、GaAs、石英等先进材料。TOKYO ELECTRON CS 500利用真空卡盘和静电电容来固定基板并优化曝光。其光学单元设计为均匀分布光，减少强度异质性误差。整个机器能够在长达10分钟的时间范围内曝光一个完整的蒙版，同时还支持步进重复曝光模式和对大面积蒙版的连续扫描。CS 500使用的光刻胶由用户精确定义，允许开发者控制他们创建的模式的分辨率。TOKYO ELECTRON CS500的曝光范围高达17mJ/cm2，适用于各种应用。它能够支持直径可达300 mm的光掩模尺寸,并采用开放式体系结构设计,以允许其他系统与TEL/TOKYO ELECTRON CS 500集成。CS500设计的维护要求最低,可用于远程监控和操作。它能够与其他TEL光刻系统通信,从而能够更好地控制生产时间和工作流程。TEL CS 500是用于高精度光刻应用的可靠光刻工具。