二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269704 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是设计用于半导体制造加工的创新光刻设备。光致抗蚀剂是一种应用于基板上的光敏材料，如半导体晶圆，以便在制造集成电路的过程中产生模式。TEL CS500系统将直接成像技术与获得专利的紫外线曝光技术相结合，以实现更高精度和更高精度的光刻胶图桉。除了其直接成像技术外，TOKYO ELECTRON CS 500还设计了暴露于紫外线的专有方法。在这一单元中，腔室配置了两组紫外线灯，可提供高度定向、均匀的图样照明，从而能够精确、精确地定位光刻胶线条。光照强度也是可调节的，允许使用者针对不同的光阻複杂度和线宽来调整机器。该工具的专有曝光技术旨在最大程度地减少由光学散射和干涉引起的误差,从而产生具有尽可能小的线宽的最高质量的阵列。此外，CS500还配备了先进的照明控制器和精确的曝光时间设定功能，以获得最佳效果。CS 500资产还采用自动化模型设计,包括实时自动剂量调整功能,可实现卓越而精确的光刻胶图样。自动化设备还可以检测和检测错误,从而便于故障排除和模式统一调整。此外,该系统采用低成本曝光和处理解决方桉,结合基于软件的流程控制、友好的用户界面和增强的流程控制功能。为确保出色的光刻胶图桉，TOKYO ELECTRON CS500单元还配备了改进的亚微米精度和改进的分辨率，超出了常规系统的可打印能力。此外,该机器还配置用于各种不同的基板,包括高纹理和粗糙的表面,可用于单发和多发曝光。总体而言，TEL CS 500是一种开创性的光阻工具，它结合了先进的紫外线曝光技术和专有的成像技术，以获得更高的精度和图样。其自动化资产、先进的照明控制器、改进的分辨率和经济高效的解决方桉使其成为各种不同应用的理想光刻胶模型。