二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为半导体及相关行业的器件生产而设计的光刻设备。它设计用于使用曝光照射和蚀刻技术精确处理薄膜光刻胶层。该综合系统能够高效、精确地处理各类薄膜光刻胶层。TEL CS500旨在支持设备生产中的用户,在处理极薄的光刻胶层时提供高精度。它配备了最新的光刻设备，旨在确保精确的曝光和精确的层厚度控制。它使用UV-VIS-IR的曝光源，使用户可以处理从65nm到5µm厚的光刻胶层。TOKYO ELECTRON CS 500具有高精度曝光级，允许在较小的基板上更高的精度。它还控制了大气干湿蚀刻系统，能够准确控制和监测蚀刻过程。温度和压力水平是可调的，该单元设计为保护光刻胶层免受污染。CS 500配备了自动光阻处理支持软件，旨在为用户提供高效、准确的光刻序列。此软件允许用户轻松调整photomask进程的变量。TOKYO ELECTRON CS500机采用晶片ID技术，跟踪晶片的位置并记录数据，以提高精度和可重复性。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一款先进的光刻胶工具，旨在为设备生产提供精确的工艺。它具有高精度曝光阶段、大气干湿蚀刻资产和自动光阻处理支持软件，用于优化光刻。它还包括用于精确跟踪和数据记录的晶圆ID技术。TEL CS 500是应对先进设备生产挑战的理想机型。