二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种先进的光刻系统，为制造先进的电子器件提供高分辨率光刻。TEL CS500利用了最先进的功能,如Photo Resist Spin Coating （PRSC）和可变聚焦光学（VFO）。PRSC用于将光刻胶沉积在基板上。这一过程使光刻胶薄膜的厚度能够均匀化，确保大小板上的曝光剂量和线宽是相同的。VFO利用激光器确保光刻胶层的精确、高分辨率图样。激光聚焦于基板的精确层或区域以进行临界图样和曝光。除了PRSC和VFO之外，TOKYO ELECTRON CS 500还具有有助于光刻过程的温度控制级。该级对基板施加热量，以利于光致抗蚀剂层的均匀性。该阶段还优化了固化时间，从而提高了暴露精度。TEL CS 500还提供了一个直观的图形用户界面（GUI）,用于快速轻松的过程控制。直观的GUI使管理配方、选择曝光、调整参数和监控流程变得容易。该系统还具有实时图像查看器,该查看器显示基板的图像,以便在曝光操作期间进行监视。CS 500是现代半导体制造中必不可少的工具。它提供了薄膜材料的精确图桉，而不牺牲精密或质量的成品设备。TOKYO ELECTRON CS500有助于降低生产成本,并提供各种产品的最高分辨率。该系统是需要高分辨率光刻技术的芯片制造商的可靠、经济高效且推荐的解决方桉。