二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种自动光刻涂层设备，设计用于processing用于半导体制造的抗蚀性基板。TEL CS500基于允许360度覆盖基板的单轴级。这样就可以实现高效的应用程序过程,因为系统可以打开和关闭电源以快速、精确地抵抗加载。将TOKYO ELECTRON CS 500树脂送入注射器泵中，可以对涂层溶液进行精确精确的控制。然后使用泵以"跟踪跟踪"模式在整个晶片上应用和传播抗蚀剂溶液。这确保了抗蚀剂在整个基板上的均匀和一致的覆盖。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500有几种不同的操作模式。其中包括一种自校准模式，允许用户在涂层前检查抗蚀剂的均匀性和覆盖范围，从而更容易识别任何参数设置或校准错误。该设备还配备了自动温度控制机。这样可以确保整个过程的温度一致,从而确保抗蚀剂的准确和一致的应用。TOKYO ELECTRON CS500还具有内置故障检测工具。这有助于在分配抗蚀剂之前提醒用户注意任何问题,以便在需要时更快地采取纠正措施。CS500与各种各样的抗蚀剂兼容，从负到正，从低到高粘度。这允许快速更换小规模或大规模生产的抗蚀剂。最后，CS 500还允许方便地连接到计算机网络，允许对资产进行远程控制和操作。这对于大规模生产很有用，允许远程监督和调整任何参数。总体而言,TEL CS 500是一种自动化的光刻胶涂层模型,旨在以最小的手动干预,在基板上提供均匀一致的抗蚀层分布。其自动化特性和与多种抗蚀剂的兼容性使其成为半导体制造中的理想选择。