二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269718 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为先进的半导体和微电子器件制造而设计的光刻设备。它能够从各种基材中蚀刻和剥离光致抗蚀层，包括硅片、石英晶片、OLED基材和几种金属。TEL CS500先进的制图能力最大限度地提高了光刻胶的利用率，使工艺速度更快，成本效益更高。TOKYO ELECTRON CS 500具有高分辨率成像系统，能够成像小至0.35微米的特性，为电路特性提供精确的重复性。光学单元也具有较低的折射率，意味着它可以减少衍射，并能够传输更高的能量辐射。这使机器具有更高的分辨率和更高的吞吐量,从而可以更快、更精确地蚀刻电路。CS 500配备了高效的后电子倍增器检测器，可最大化光刻胶的信噪比。它还有一个高灵敏度的宽带CO2激光输送工具，能够实现低压运行，显着减少高能辐射下的溅射。交付资产还配备了一个平地能量探测器，可以在大面积地区进行精确处理。TEL CS 500还具有特殊的腔室设计，有助于减少蚀刻过程的接触时间，同时保持低温环境。这样可以减少加工时间并提高薄膜稳定性。CS500还包括独特的分离室配置，通过防止晶圆和分离室之间的交叉污染来降低污染水平。最后，TOKYO ELECTRON CS500包括一个先进的控制程序，允许快速设置和易于操作。控制程序的设计允许用户即时调整处理参数，确保处理过程针对正在处理的基板进行优化。它还允许对外壳温度和腔室压力进行远程控制，以达到最终的蚀刻精度。