二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269720 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是用于先进半导体器件工艺的光刻设备。它是根据半导体制造商的需要量身定制的，提供了一个全面的电磁光刻系统。该单元可以容纳广泛的基材，包括8英寸和12英寸的晶圆，并具有高分辨率的步进/扫描仪机器。它还能够容纳高达18英寸晶圆的双面板。步进/扫描仪工具可以生成分辨率高达0.08 μ m的高分辨率图像。该资产提供了许多功能，以确保光刻过程中的准确性和可靠性。这包括一个完全封闭和自动化的扫描仪卡带加载模型，一个轴上晶片对准模块，以及高速晶片处理设备。该系统还包括一个先进的热卡盘加热器,该加热器可实现温度控制和热均匀性,以及高度集成的控制体系结构,以便于过程设置和管理。光学单元由多种元件组成，包括高功率照明机、高级相位光栅和场耦合器。特别是照明工具具有高光屈服，使高精度图样打印具有良好的聚焦深度。资产可以处理广泛的基材和光敏材料。它与标准的i-line和KrF光刻系统兼容，并装有化学-蒸气沉积（CVD）的抗蚀涂层模型。作为防腐涂层工艺的一部分，该设备包括侧壁控制，这是精密设计所必需的重要步骤。该系统还具有高级软件,可轻松管理和跟踪流程的每个步骤。该软件允许使用简单、用户友好的图形界面设置、处理和监视参数。总体而言,TEL CS500光敏装置是先进的、通用的半导体器件加工工具.其高分辨率的步进/扫描仪、先进的照明、CVD抗涂层以及全面、用户友好的软件,使其成为制造商在执行光刻过程时寻求精度和可靠性的绝佳选择。