二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269721 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种用于半导体器件制造的高端光刻设备。它是一个全自动系统，可用于执行各种半导体加工应用，如制图、退火、蚀刻和沉积。TEL CS500是一个ARCVD（大气关系，化学，蒸气沉积）机，使用电阻掩模单元进行光刻。它能够制造极薄的光刻胶层，为晶体管和IC等有源半导体器件的创建奠定基础。机器可以在0.1 µm分辨率的高分辨率环境和10,000晶圆/小时的单模速率的高通量环境中运行。机器可以一次处理100/晶圆，这导致由于自动化而产生更高的设备产量。TOKYO ELECTRON CS 500还设计了其原位清洗工具（ISPS），以确保最大程度的过程稳定性和可重复性。这一资产提供了预溷合工艺气体的冗余流动，具有温度和压力稳定的环境，这对于精确的半导体器件制造至关重要。CS 500型包括一个完全集成的涂层/显影剂单元，设计用于优化工艺配方和控制。它旨在覆盖从边缘到边缘的整个晶片,提供均匀性和更大的工艺控制。该设备还设计用于各种应用，包括但不限于制造MEMS、PCB、LED、生物传感器和光学元件。该系统还可以通过额外的流程解决方桉进行定制，以满足客户的各种需求。总之，CS500是一个坚固可靠的光阻装置，为用户提供其半导体器件处理应用的高级功能。凭借其先进的特性如原位清除机（ISPS）、涂层/显影器单元、高分辨率和吞吐量能力，是高端半导体器件制造的理想选择。