二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269725 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种光刻设备,旨在满足大容量微电子和光电子生产的各种需求。它利用先进的成像和曝光技术为先进的半导体器件提供卓越的性能。该系统适用于从光学薄膜到电子束和X射线抗蚀剂等多种光刻材料的光刻。TEL CS500配备了多种硬件和软件功能,使用户能够准确定义曝光字段并聚焦晶圆以获得最佳性能。它具有增强的高分辨率图形发生器,可确保卓越的几何保真度、边缘清晰度和对焦深度,以及降低标线误差的对准摄像头。此外,软件内置的暴露参数数据库使用户能够快速调用以前使用的暴露设置,而无需进一步输入数据。TOKYO ELECTRON CS 500还包含了一些优化该单元实际使用的功能。它配备了免维护、50 kV晶片级,不需要手动调整晶片位置以保持边缘锐度。此外,其先进的自动化晶片处理功能允许多个晶片一次加载和卸载,大大缩短了循环时间。TEL CS 500的先进软硬件特性保证了高可靠性的性能,保证了一致的产量。通过利用其板载无掩码光刻功能,它非常适合需要最高生产效率的大批量生产环境。此外,机器的固有灵活性使其能够快速调整以适应不断变化的生产技术,例如改变光源。总而言之,TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一款最先进的光刻工具,为用户提供无与伦比的性能和可靠性。借助先进的成像和曝光技术,它可以轻松满足当今苛刻的生产不稳定环境的需求。
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