二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269726 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种用于半导体光刻的先进光刻系统。它是一个高精度的系统，可以让用户在各种光刻配方中精确地曝光光刻胶。TEL CS500提供了一系列功能,使光刻胶处理更轻松,包括自动曝光控制和强大的焦点控制工具。TOKYO ELECTRON CS 500的设计可容纳多种不同类型的光电抗蚀剂，包括单层和多层抗蚀剂配方。它能够在高达450mm x 450mm的曝光面积的单层和多层光刻膜中曝光图样。CS500具有高速扫描功能,可支持高达0.5微米的线宽。这在先进的光刻应用中适用于超细结构的图样化。CS 500还提供许多其他功能,包括用户友好的图形用户界面、温度控制环境和各种安全功能。曝光控制器提供曝光设置的实时反馈,以确保最佳模式曝光。TEL CS 500还配备了内置的辐射计量元件，允许用户对抗蚀剂膜厚度和抗蚀剂曝光轮廓进行原位测量。TOKYO ELECTRON CS500结合了精度和稳定性，为用户提供卓越的加工效果和优雅的体验。它旨在减少浪费，同时提供高产量和可重复的工艺结果。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500因能够以精确度和精确度暴露不同特徵大小的图样，非常适合半导体工业和研究的各种应用。其多种特性和坚固的性能使其成为光刻加工的理想系统。