二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269757 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种光刻灰化设备,其设计目的是利用前沿技术最大限度地提高产量。该系统设计用于光敏加工，这是半导体器件制造的关键步骤。TEL CS500利用远程等离子体源对光刻胶进行高精度和精确度的蚀刻。这使操作员能够在高度控制的情况下定义蚀刻时间、功率和气流。光致抗蚀剂灰化装置以较低的热预算和较高的选择率提供快速清洁。机器提供了一次蚀刻多层光刻胶的手段，具有很高的穿透力。这使得具有极好的均匀性和高度可靠的工艺，提高产量和提高质量。TOKYO ELECTRON CS 500是一种工具，它能够利用像Plasma Lens™技术这样的先进功能来控制光束的均匀性，从而获得最佳的定向性能。其高精度脉冲气体控制、精细接口（PC或PLC控制）和多维成像仪等先进功能是增加处理工作量并充分利用工具功能的进步。TOKYO ELECTRON CS500是一项旨在提供可重复结果并增加满足客户要求的可能性的资产。此模型还提供了监视、监视和验证蚀刻过程的方法。这也有助于提高质量并降低与蚀刻后测试相关的成本。TEL CS 500易于使用的接口使操作员能够灵活地有效地简化灰化过程。此外，结合气体监测、明室探测和超压保护等安全特性，提供了安全可靠的工作环境。总之，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一种提供精确且可重复结果的灰化设备，控制程度高，清洗速度快，选择率高。凭借其令人印象深刻的功能和用户友好的界面，CS 500可用于提高光刻胶加工的产量和质量。