二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269765 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种最先进的光刻设备,能够同时执行高分辨率光刻和干蚀刻工艺。该系统旨在提供亚微米几何形状的精确图样，然后用于创建集成微电子器件。该单元有一个带有可拆卸静电卡盘的腔室，用于平面化和阵列化。机器内部有一块由抗蚀剂材料和专用基板组成的块。静电卡盘悬浮块并精确控制晶片的速度和位置。为了进行光刻工艺，TEL CS500利用先进的高分辨率光源，如KrF或ArF准分子激光器。这用于通过掩蔽或内置的光掩码在抗蚀剂上创建投影图像。在此过程中，紫外线辐射与抗蚀剂相互作用，创建了一个根据掩模结构做出反应的图像。在光刻步骤之后，该工具利用动态背面偏置发生器进行干蚀刻应用。这一特性利用电源产生带负电的方波偏置，应用于晶圆上的各个点。有了这种偏差，资产就能蚀刻到抗蚀剂中。此外，TOKYO ELECTRON CS 500还有一个温度控制的环境，使得在不同的温度下进行过程成为可能。这有助于优化设备的分辨率,以获得所需的阵列处理结果。除了具有高分辨率光刻和蚀刻功能外，TEL CS 500还配备了在线检测工具，可以对设备结构进行即时监控。这样就可以立即调整流程,以产生更精确的设备。最后，该模型配备了一个用户友好界面，可以对所有流程进行准确的监测和控制。这有助于使整个过程更加顺畅和高效。因此，CS500是满足任何先进光刻和干蚀刻工艺需求的有力工具。