二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269767 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种专门用于光刻的照相晶片抗蚀剂加工工具。该工具采用湿法或干法开发工艺，在抗蚀剂性能及其对蚀刻溶液的抗蚀性方面实现了优越的控制。TEL CS500利用专用的控制设备来管理物理参数,包括湿式或干式开发解决方桉的体积和温度。这样可以确保在最佳参数范围内执行抗蚀剂开发过程,从而实现固定的、可重复的结果。系统为用户提供高分辨率液晶屏,以准确明了的方式显示当前设置。该装置还能够自动管理暗场和光场板装置，以确保晶圆的光敏区域得到适当的曝光。TOKYO ELECTRON CS 500是分裂场兼容的，这意味着它可以在开发过程中实现对准注册。这有助于确保临界抗蚀剂阵列保持到最高标准。机器还有一个快速、直观、准确的程序编辑器，它允许抗蚀剂开发的配置。这允许用户创建自定义的程序来帮助实现特定的目标和要求。TOKYO ELECTRON CS500能够控制其溶液沐浴水平，使其在沐浴中的精度达到+/-0.1毫米。这种精度水平有助于确保整个抗蚀层的均匀薄度，从而在抗蚀层开发中实现更精确的控制。TEL CS 500包括低扩展外壳,有助于确保准确的测量,并在整个开发过程中提供卓越的测量精度。该工具还提供了专用于抗蚀剂厚度测量过程的监控程序。这有助于确保在蚀刻过程之前,层的抗厚度精度。CS500还配备了蒸汽发生器，用于控制开发过程中产生的冷凝水滴大小。这有助于最大限度地减少晶圆干燥缺陷并确保均匀的光阻层。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500是一种可靠而强大的光刻胶资产，有助于在敏感基板上创造出优越的图桉。它的高级控制系统有助于确保准确性和可重复性,同时为用户提供易于使用的功能来创建强大的开发程序。