二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269768 待售

TEL / TOKYO ELECTRON CS500
製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
CS500
ID: 9269768
System HITACHI LE-4000A Mask cleaner Developer pump car.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500是一种用于先进光刻和掩蔽应用的光刻设备。它专为满足最先进的半导体和微电子制造工艺的需求而设计。TEL CS500能够精确有效地沉积光刻胶层,可用于为电子元件创建导电通道。该系统利用了一种化学溶液,称为光致抗蚀剂,它被施加并硬化到基板上。这种光刻胶后来作为一种耐蚀刻层,便于快速和精确的图桉、蚀刻、grpahics和电子元件的设计。TOKYO ELECTRON CS 500利用阴影或影像掩模投影单元,允许多种薄膜图桉印在基板上。然后将光敏的光致抗蚀剂暴露在特定波长的光下,在此期间有选择地使遮罩光致抗蚀剂硬化。光刻胶的这种硬化作用是定义所需图桉形状的模板。此外,CS 500采用了最先进的真空技术,以确保均匀涂层和创造统一的图桉。CS500功能自动控制,能够对客户产品进行精确操作和调整。这种操作灵活性允许对各种生产线任务进行快速的原型设计和优化,使高质量部件的制造能够及时进行。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500的准确率为+/-0.2微米,可以处理直径达400毫米的底物。此外,TOKYO ELECTRON CS500具有较高的可靠性和较低的运行成本,其高通量力学导致了高收率和重复性。综上所述,TEL CS 500是为最苛刻的微电子和光刻应用而设计的先进光刻机。它将精确度和效率相结合,可以快速准确地生产元件和图样,并具有其他系统所无法比拟的灵活性和精确度。
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