二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301072 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为电子器件的高级微结构而设计的光阻设备。它是一个全自动系统，旨在精确和精确地打印电子结构中的微小特征。TEL CS500允许在小到3mm的基板上进行多级打印,并且能够寻址大多数基板方向。该单元集成了高分辨率电荷耦合器件（CCD）相机和激光二极管等成像和光学元件，使对准和焦点的控制能够以卓越的精度优化亚微米特征的打印。相机还有助于在单个胶片或基板表面上大幅减少芯片对芯片的方差。TOKYO ELECTRON CS 500配备了一个提供高精度定位和旋转的级，以获得用于图像定位的基板的精确对准。此外,还可以使用高分辨率和自动化索引器来实现X和Y方向的对齐对齐。为了实现有效的打印过程,TEL CS 500集成了高精度、直观且用户友好的图形用户界面,用于编辑、通道选择和分辨率设置。此外，该机还具有高级参数定制的模式创建，便于复杂模式的精确成型。它还包括一个允许形成3D特征的"通过"功能，同时包括一个智能的标线控制机制，以确保只将最精确的图像传输到基板或胶片。CS 500采用高级扫描算法,以极低的残余重迭级别捕获主映像和次映像。这样可以确保打印特征具有最小的边缘粗糙度和出色的配准精度。该工具还采用了先进的温度控制技术,以确保打印温度一致,从而实现卓越的均匀性。此外,CS500通过在单个平台上集成分配和喷涂技术来提高最佳生产率。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500节能，在发生电源故障或其他故障时还包括紧急关机资产。该模型还得益于紧凑的物理设计,允许最大限度地减少空间需求和灵活选择环境。