二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9301977 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是光刻加工的光刻设备。它专为MEMS、先进集成电路、3D封装、有机发光二极管（OLED）等高精度应用而设计。该系统结合了输送机和多区全数字照明，可以实现快速、精确的操作。TEL CS500具有一个电动级和一个最先进的探测器，可以测量温度变化与亚微量精度。该单元的数字X-Y线性级提供了高级稳定性、重复性和均匀精度，直至亚微米精度。TOKYO ELECTRON CS 500配备了高品质的摩托化光学机、高品质的精密多区照明工具、信号采样和控制系统，为精密光敏处理提供了绝佳的环境。电动光学装置允许在设置资产时对光学聚焦和对准进行精细调整。多区照明允许精确操纵照明区域的大小和位置，从而确保光刻胶在基板上的精确覆盖。此外，信号采样和控制系统提供对暴露剂量和暴露时间的准确控制。因此，TOKYO ELECTRON CS500可以用于高度复杂和精确的光刻操作。此外，该模型高度自动化，需要极少的操作员干预。自动化的输送机设备消除了操作员给基材喂食的需要。系统可配置为自动测量基板尺寸和基板位置。此外，该装置还提供了自动化的工艺监控和优化机器，可以快速调整和改进工艺参数，以实现高效的光敏处理。CS500是高精度光敏处理的绝佳选择。它提供了一个既适合原型制作又适合生产的自动化过程环境，使客户能够快速获得高质量的结果。其可重复、可靠的操作，加上根据应用需求定制设置的灵活性，使得TEL CS 500成为半导体、MEMS、OLED等行业以及任何其他需要高精度光刻处理的行业的理想解决方桉。