二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9411463 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是在半导体器件制造过程中使用光源有选择地去除光敏材料抗蚀剂的光敏设备。它使用波长365nm的高分辨率紫外线光源。光源配有高精度的控制系统和涂层机构，以确保光刻胶以均匀的厚度涂抹。光源照亮了光刻胶薄膜，然后将其暴露在紫外线下。紫外线将图像从光源转移到光刻膜。当光致抗蚀剂膜被曝光时，被曝光的区域被选择性去除，而未曝光的区域则保持完整。TEL CS500还具有图样对齐功能,能够精确对齐光刻胶片上的图样。通过其精确定位单元，TOKYO ELECTRON CS 500可以将光源精确引导到光刻胶膜的适当区域。这种对准能力允许精确的模式放置与亚微米精度。CS500还包括固化剂，以便在光刻材料和底层基板之间提供均匀的交叉连接。这种交联使光致抗蚀剂在整个设备制造过程中保持完好无损，并确保任何图桉任务都能可靠地并可重现地从光致抗蚀剂薄膜转移到底层基板上。通过将精确的光源与其先进的对准能力相结合，TEL CS 500能够以最小的失真和污染，准确可靠地去除光敏材料。这使得TEL能够生产出性能卓越的高精度设备。此外,它的对准能力、固化工具和总体资产设计使TEL/TOKYO ELECTRON CS 500成为各种半导体器件制造工艺的理想选择。