二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9412547 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS500是为高精度、高效率光刻而设计的光刻设备。该系统采用先进的生产原理，用于半导体、光电和磁盘驱动制造业。TEL CS500配备了325毫米场自旋辅助步进运动控制，允许在248至419 nm的波长范围内进行精确快速的推进。该单元还包括一个特殊的NIR驱动快门，使得更高的分辨率产量和更少的工艺步骤。TOKYO ELECTRON CS 500采用双镜头设计，具有VIS/NIR目标和UV目标。紫外线目标既是碳纤维校正，也是玻璃纤维校正。机器上的镜头总数值光圈为0.90 （NA），以保证高性能成像。TOKYO ELECTRON CS500的视觉灯提供了自动识别遮罩图样的功能,即使其最小特征尺寸也很小,大大减少了手动调整的需要。借助双轨平坦度测量工具和并排散射法，TEL/TOKYO ELECTRON CS 500可以在过程中精确监测结果。CS500还配备了新的硬化偏振器,可在极端操作条件下精确调整成像或照明方向。这降低了极化元件的性能损失，从而提高了耀斑的均匀性和抑制能力。TEL CS 500将精确的运动控制与闭环级结合在一起,闭环级采用高分辨率位置传感器,为目标扫描提供完整、准确的反馈。这不仅提高了位置精度，还保证了更高的吞吐量和更好的工艺性能。该资产配备了用户友好的人机界面（HMI），便于操作和定制流程。HMI还配备了数据记录模型，能够安全和可追踪的数据跟踪和检索过程结果。CS 500提供精确、可重复的光刻效果，导致成像屈服损耗降低，过程稳定性提高，吞吐量更高，客户服务满意度更高。该设备结合了先进的成像和工艺技术，是精密半导体制造的理想选择。