二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399458 待售

製造商
TEL / TOKYO ELECTRON
模型
CS800
ID: 9399458
优质的: 2002
Coater / Developer system 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS800是一种全自动光刻设备,利用一系列工艺生产半导体芯片和其他集成电路。该系统由两级化学过程组成,其中第一级为光刻胶曝光,第二级为光刻胶层的发展。曝光过程是通过接触曝光进行的,接触曝光利用了口罩与目标材料(如硅片)的对准和曝光。这个过程允许光刻胶层的截面接收光子,这会导致基材上的改变。然后将目标材料转移到利用相容化学品与暴露于目标材料的光子发生反应的发展阶段。这允许创建模式,因为化学物质去除光刻胶层内所需的区域。利用这一点,可以根据用户设定的规格来设计模式。TEL CS 800利用氮气、空气和氧气来控制机器内的环境。这种特别设计的环境在处理精细材料时允许更高的准确性。在不同的过程中,单元也会在最佳温度下运行,从而阻止在装置上形成薄膜。此外,TOKYO ELECTRON CS-800利用特殊的灯提供曝光过程所需的光子。灯具高度专业化,可根据设计者创造的要求进行调节。TEL CS800是一个完整的、最先进的光刻机,它提供了一个非常精确和可靠的过程。该工具既利用了曝光阶段,也利用了开发阶段,以确保光致抗蚀剂应用的高质量。此外,在氮气、空气和氧气环境下,这种工艺的精确度要高得多。专用灯还可确保曝光过程在更高水平的反射下非常准确。所有这些结合起来,就能形成一个非常高效和可靠的资产,这有助于产生尽可能好的结果。
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