二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800 #9399459 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS800是为半导体晶片图样设计的光刻设备。该系统能够在晶圆级提供高分辨率的光刻胶图样。该单元由大型机、批处理单元、旋转处理器和CDS监视器组成。大型机用于控制机器，包括一个图形用户界面，使其易于操作。它还包括各种通信端口，允许与半导体制造过程中使用的其他系统集成。大型机可以配置可编程控件，可以自动处理重复性任务。批处理单元用于高速处理一个周期内的多个晶片。这样可以提高吞吐量,减少晶圆处理所需的总时间。加工单元设计为与微调器配合使用，一次最多可容纳五盒晶圆。旋转处理器用于在阵列处理过程中旋转晶片。它专为高速、灵敏的操作而设计，以确保准确的处理。旋转器装有多种运动和控制机构，如自动主轴转速调节、开槽导环和制动器。CDS监视器用于实时监视阵列制作过程的进度。该监视器具有数据采集、信号和漂移检测以及图像比较等一系列功能。CDS监视器可用于检测任何潜在缺陷或问题,然后再影响最终晶片质量。TEL CS 800光致抗蚀剂工具的设计目的是提供晶圆级的高分辨率图样。它的特点，如大型机、批处理单元、自旋处理器和CDS监视器，允许简单准确的操作，使得这项资产成为半导体芯片制造商必备的。