二手 TEL / TOKYO ELECTRON CS800S #293661853 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CS800S是一种光致抗蚀剂设备，设计用于晶圆级器件的开发和生产。它设计用于光刻过程，如蒙版书写和蚀刻。TEL CS800S配备了高分辨率LaserWriter光掩码写入器，能够在0.25um的音高上写入10,000个电压步长。它还可以用作超高分辨率蒙版的高端电子光束蒙版写入器,可写入高达50 nm的尺寸图样。该系统还包括一个大面积的成像后检查单元，能够对图样图像进行快速、准确的检查和分析。TOKYO ELECTRON CS-800S包括一个自动可调的阶段，提供改进的光刻精度，以及广泛的特性如自动聚焦、可编程的阶段样条等。此外,CS800S还提供了"软电路监视器（SCM）"来测量掩模的光学性能。SCM还可以通过测量光掩模的总航空图像强度和边缘清晰度来检测光掩模中的缺陷。使用CS-800S台机器,可写入的最大阵列大小为8 "x 10",线宽降至0.05 um,接触孔降至0.12 um。该工具还提供了4X的极化损耗降低，导致更高的电路屈服。除了上述功能外，TOKYO ELECTRON CS800S还提供了自动抗热应用、快速曝光、高级抗热预热功能等一系列高级功能。此外，它还配备了自动校准资产，对阶梯位移和阶梯样条等参数进行精确控制。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON CS-800S是一种高能力的光刻胶模型，设计用于高分辨率的光刻工艺。其自动校准设备、高分辨率激光写入器和后成像检测系统，适用于晶圆级器件的研制和生产。