二手 TEL / TOKYO ELECTRON Hot plates for ACT 12 #293650996 待售

TEL/TOKYO ELECTRON HOT Plates for ACT 12 is a photoresist equipment designed for microelectronic device probrication.它旨在为基板的生长、暴露和发展提供精确和受控的热环境。该系统能够产生10至300摄氏度范围内的高度可重复和精确的温度。热板由导热、平坦的非磁性基板、附加的加热器板、温度控制单元（TCU）和隔热机械压缩单元组成,该单元在加热器板和基板之间建立了压紧连接。该热板具有均匀分布的温度曲线，采用低热质量陶瓷、树脂等材料的先进组合，以实现最佳温度控制和均匀性。TCU用于精确控制热板温度，使其快速准确地达到并保持目标温度。加热器板由一个Peltier型加热装置组成，其顶部有一个平台，其中包含微贴片热板和基板。ACT 12的TEL热板使用数字活动控制器操作。活动控制器具有控制机器运行的一系列选项,包括温度设定点、冷却时间、开/关循环、冷却持续时间和加热器预热配置文件。此外，数字活动控制器还包括高级监控功能，以确保该工具的操作准确高效。TOKYO ELECTRON HOT Plates for ACT 12 asset is designed to provided precise and consistent thermal properties while diminish thermal divers此外，该模型还提高了晶片对晶片的产量，提高了顶面平面度，提高了操作员的安全性和环境稳定性。该设备还可用于光刻、沉积、植入、蚀刻和输液等工艺。