二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293829708 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款高性能的光刻设备，旨在支持先进的半导体器件制造工艺。它能够生产高分辨率和广泛的动态曝光波长的高质量光刻胶。该系统可以处理各种复杂的图桉形状和尺寸，并且可以根据特定的设备制造需求进行调整。该单元结合了TEL先进的i-Line ETL均匀性技术，在晶圆表面提供了卓越的均匀性和均匀性控制，最大限度地提高了生产率。一台功能强大的晶圆边缘对齐机可以精确放置图样和精确定位特征和图样,从而获得更精确的结果。TEL Lithius i+在直观的触摸屏面板上由用户友好的控制工具操作，可以让用户快速轻松地设置设备并开始生产。它还利用了广泛的附加功能，如自动调谐、集成分光光度计、图像处理软件和双点光学瞄准。TOKYO ELECTRON Lithius i+独特的模块化设计，根据必要的要求，容易缩放加工速度。这允许用户改变资产的速度，以满足特定的生产目标，并快速有效地应对不断变化的市场需求。此外,模型的模块化设计允许用户根据自己的需求定制流程,并根据需要升级流程。该设备还具有许多安全功能，如围绕活动工序区域的安全护罩、操作员安全开关以及安全互锁机制，以确保安全和合规的工作环境。所有这些功能的结合使Lithius i+成为前沿半导体器件制造应用的理想工具。