二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #293830618 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款集成的光刻胶加工设备,其特点是在提高生产率的同时,仍能为掩模、基板清洁和光刻胶涂层提供出色的解决方桉。该系统主要由三个部分组成：抗蚀剂预处理溶液室、抗蚀剂喷雾器和光照站。溶液室设计用于制备基板，然后再喷涂抗蚀剂材料。除了抗蚀剂预处理步骤外，溶液室还能清洗和剥离任何现存抗蚀剂材料的基板表面。该腔室还包含一个特殊的储层，用于抗腐蚀，以进一步改善抗腐蚀附着力，防止在蚀刻过程中发生抗剥落和针孔形成。抗蚀剂喷雾器设计用于在基板上施加所需的光致抗蚀剂厚度。喷雾器使用空气使抗蚀剂材料雾化，并确保在受控环境中均匀涂层。该机组配有专用调节旋钮，用于控制喷雾图桉和液滴尺寸，以及可调节的喷嘴和雾化器。这允许用户根据特定基板类型所需的确切规格自定义喷雾应用程序。最后，光照站被设计用来将遮罩设计传递到抗蚀剂材料上，创建一个有图桉的基板表面。该站设有高分辨率激光光源、显微镜放大级和可选激光对准机，以保持精度。此外，还包括专门的计算机视觉软件，以使曝光过程自动化，并优化光刻胶工具的掩模开发。TEL Lithius i+是一项先进的综合性光刻资产。其精确、可定制的设计为用户提供了精密面膜和基板制备及涂层方面的卓越效果。此外,它的自动化功能消除了不必要的人工劳动,从而提高了用户的工作效率并降低了成本。TOKYO ELECTRON Lithius i+具有卓越的特性，是精密基板制备和涂层的首选。