二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9032258 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是为半导体光刻设计的光刻设备。该系统提供精确的光学成像元件，使专业的晶圆涂层工艺能够一致地制造半导体电路。该装置的设计是为了在微加工的关键步骤中提供更一致的性能。该机有两个关键组件，一个主组件和光学成像工具。主要组件可实现快速、精确的晶片涂层,而光学成像资产则控制光学特性,以确保薄膜覆盖的一致性。光学成像模型包括三个不同的模块；光源模块、长度写入模块和光束控制模块。光源模块负责生产光刻工艺中使用的光，提供静态光源和电动孔径控制，以放大或缩小光的尺寸面积，以配合图桉工程技术。Length Writing Module负责提供要遵循的曝光模式的准确解释，这是用来避免过度曝光晶片，并且可以减少微调或修正的需要。光束控制模块负责控制狭缝宽度和光束强度，以最大精度匹配图样深度或延伸光的焦点。此外,设备还具有节点组件,这对于过程的准确性至关重要。这一组件允许操作员控制系统的电源，监控设备的状态，以生产出质量的晶片。最后,模式传输单元是负责从源位置下载和注册模式的组件,使其易于曝光。总体而言,TEL Lithius i+是一款出色的光刻机,具有广泛的功能,可确保半导体器件的制造过程中获得准确、高质量的结果。它易于与流程集成,减少了手动干预的需求,而其可靠的组件提高了晶圆的产量。该工具为以前无法想象的产品开发提供了一定程度的准确性。