二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9171607 待售
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ID: 9171607
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Coater / Developer system, 12"
Model no: T&H-ME1-4AAZAZZ-01
Wafer type: Notch
Wafer material: Si
Signal tower: ETC (4) Lamps
On-line interface: SECS II / GEM
In-line: Yes
Make: NIKON
Model: NSR
Main controller: Version 4
Layout type: IFB, PSB, CSB (Touch)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+是一款光刻设备，设计用于提供半导体器件微加工中精确高效的光刻工艺。它旨在确保在制造毫米和纳米级器件时尽可能提高精度和生产水平。该系统围绕一个由快门、透镜和曝光光束源组成的石质单元构建，每个光束源都有数字控制。快门是一种先进的压电执行器，由控制器控制，以确保最佳定位和曝光。透镜提供高分辨率衍射成像光学器件，用于在晶圆上制图。透镜与晶片的接近确保了光刻过程的高分辨率几何形状。曝光光束源是利用数字光学和光学模型在晶圆表面上提供最佳模式的激光器。该单元有一个聚焦的短脉冲激光源，用于创建高分辨率图样，无论是用于晶片的微细加工还是用于激光直接书写材料。这种聚焦的短脉冲激光源非常适合许多应用,包括晶圆上现有特征的修改、新特征的创建以及需要光刻精度的广泛应用。该源能够在各种材料上投影图像而不会失真或损坏，有效地提供了广泛的光刻能力。该机器还包括许多其他组件,这些组件可实现高效的生产能力。这些组件包括自动基板卡带处理以及易于编程的自动对焦功能。自动聚焦可确保每个晶片以最佳精度曝光和阵列。控制平台是一个精密的用户界面,设计为高度直观和用户友好,使工具能够执行许多复杂的任务,包括多次曝光、开发多种配方和计算组件。该资产还包括多种追溯能力，包括曝光后对准、跟踪和高速晶圆战争校正。这使得即使是最苛刻的生产计划也可以使用模型。TEL Lithius i+是一款先进的光刻设备，提供高效的光刻解决方桉，精度无与伦比。各种组件、自动化功能和可追踪性选项可确保系统可用于各种应用程序和生产要求。
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