二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i+ #9198142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i+Photoresist Equipment是一款用于制造半导体器件的功能齐全的系统。它旨在提供精确、可重复的层层微米厚的光刻膜沉积，从而产生高质量的晶片和模具。光刻装置由沉积室、湿板凳、光学检视器、五个电源和一个计算机控制模块组成。沉积室是机器的主要部分。它采用"浸涂层"技术，精确沉积均匀的光敏膜。它还设有一个带有内置真空的观察窗口，用于监测涂层工艺。湿板凳包含沉积过程的溶液和冲洗罐。它还具有一个在沉积过程中冲洗光刻胶薄膜的泵。该工具配有五个单独的电源，以提供沉积过程所需的电源。它有两台用于电阻涂层的高频发电机和三台用于电阻膜平整的低频发电机。该电源还采用模拟数字转换器，以降低杂散电场的干扰程度。最后,TEL Lithius i+Photoresist Asset以计算机控制模块为后盾.该模块便于校准和防止沉积过程中的错误。它还可以利用实时数据和反馈来监控整个过程，从而更好地控制沉积过程。总之，TOKYO ELECTRON Lithius i+Photoresist Model是一款可靠准确的设备，可以高效生产高质量的半导体器件。它采用浸涂技术、五个电源和一个易于校准和过程监测的计算机控制模块，具有高效的沉积工艺。