二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i #9215227 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius i
ID: 9215227
晶圆大小: 12"
Coater / Developer system, 12" Main frame.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius i是一款光刻设备,旨在满足光刻应用的需要。它使用先进的自旋涂层系统在硅片上涂抹均匀、薄薄的液体光刻胶层。光致抗蚀剂再暴露在紫外线下,这会激活晶圆表面的敏感分子,使其反应形成图像。曝光后,光致抗蚀剂再暴露于溶剂中,有时也称为"显影剂",有助于有选择地去除光致抗蚀剂层的暴露部分,留下剩余的未曝光部分。TEL Lithius i photoresist单元提供多种功能,旨在使光刻工艺高效、经济高效。它配备了高分辨率热成像机,以确保精确的图像开发。此外,它还具有先进的晶圆处理工具,可最大限度地利用晶圆表面,同时确保低缺陷率。在安全方面,该资产旨在保护经营者免受有害化学品的危害。TOKYO ELECTRON Lithius i适用于多种光刻应用,包括微电子学、生物技术和光学系统。其自旋涂层模型具有很高的精度和均匀性,产生了高产率和高质量的测试结果。其先进的晶圆处理和热成像系统也使设备能够执行极其精确和精确的过程。而且,该系统设计为易于使用和维护。总之,Lithius i是一种可靠、先进的光刻装置,适用于各种光刻工艺。其自旋涂层机确保均匀均匀的光刻膜涂层,而其热成像和晶圆处理系统则提供精度和精确度。该工具还旨在最大限度地提高安全性和效率,从而产生高产和优异的测试结果。
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